自动对焦表面形貌测量设备
该型激光式轮廓仪主要用于复杂小零件,超微型器件以及智慧型电子设备用微小镜片的尺寸量测。对于这类被测物的需求特点,该社针对性的开发出了特别的测量方法。该方法利用点自动对焦探头(PAP)的高角度追踪能力,使激光光轴倾斜,可达到小零件难于测量的内圆部,同时也兼具倾角测量功能,可测量亚微米级工件的截面轮廓,圆周轮廓和三维轮廓,且无需设置最佳测量条件,直接进行重新定位。

测量原理及特点:

                                                     点自动对焦分析原理

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           1. 大的测量范围/ 高精度测量.

2. 优异的角度跟踪能力.

3. 快速3D测量

4. 符合粗糙度测量标准.

5. 自动对焦扫描实现快速表面形貌的测量.

6. 对测量工件表面颜色及反射率无要求.

7. 丰富的测量功能.


部分测量范例:

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基本规格参数:


a 自动对焦传感器


            1. 激光点尺寸: D = 1 μm (at 100X )     半导体激光o/p=1 mW , Max A:635m (Class 2)

 2. AF 重复性: σ = 0.03 μm


b 测量对象

1 2D/3D表面形貌

2. 平整度

3. 3D/轮廓

4. 翘曲度


c 扫描范围

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更多型号及各类不同特殊应用请随时咨询我司人员进行交流咨询,以便提供给您更加精准的型号配置推荐。


测量原理及特点:

                                                     点自动对焦分析原理

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           1. 大的测量范围/ 高精度测量.

2. 优异的角度跟踪能力.

3. 快速3D测量

4. 符合粗糙度测量标准.

5. 自动对焦扫描实现快速表面形貌的测量.

6. 对测量工件表面颜色及反射率无要求.

7. 丰富的测量功能.


部分测量范例:

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基本规格参数:


a 自动对焦传感器


            1. 激光点尺寸: D = 1 μm (at 100X )     半导体激光o/p=1 mW , Max A:635m (Class 2)

 2. AF 重复性: σ = 0.03 μm


b 测量对象

1 2D/3D表面形貌

2. 平整度

3. 3D/轮廓

4. 翘曲度


c 扫描范围

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