测量原理及特点：

                                                     点自动对焦分析原理

           1. 大的测量范围/ 高精度测量.

2. 优异的角度跟踪能力.

3. 快速3D测量

4. 符合粗糙度测量标准.

5. 自动对焦扫描实现快速表面形貌的测量.

6. 对测量工件表面颜色及反射率无要求.

7. 丰富的测量功能.

部分测量范例：

基本规格参数：

a 自动对焦传感器

            1. 激光点尺寸: D = 1 μm (at 100X )     半导体激光o/p=1 mW , Max A:635m (Class 2)

 2. AF 重复性: σ ＝ 0.03 μm

b 测量对象

1 2D/3D表面形貌

2. 平整度

3. 3D/轮廓

4. 翘曲度

c 扫描范围

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