精密型台阶仪
此型工业用台阶仪基于Windows 操作系统为多种不同表面提供全面的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能基板、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。 能精确可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。该仪器 配备了各种型号探针,提供了通过过程控制接触力和垂直范围的探头,彩色CCD 原位采集设计,可直接观察到探针工作时的状态,更方便准确的定位测试区域。

产品主要特点:

 

1. 采用直动式检出器,测量稳定

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2. 极佳重复性及再现性

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3. 低测定力采用

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a. 测定力从0.5N~500N,0.05~50mgf范围内任意设定

b. 可测量柔软性质表面


4. 真实能见度

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基本参数配置:


一、样品台:

1. 样品台尺寸:φ160mm

2. 最大工件尺寸:φ200mm

3. 最大工件厚度:52mm

4. 最大工件重量:2kg

5. 倾斜调整范围:±2°(±5mm/160mm)

6. 样品台材质:黑色硬质铝

7. 手动旋转:360°(手动粗调)、±5°(微调,最小约0.5°)


二、传感器(pick up):

1. 原理:直动式传感器 (业界唯一)

2. Z方向测定范围:Max. 600μm

3. Z方向最小分辨率:0.025nm (2,000,000放大倍率时)

4. 测定力: 10uN ~500uN

5. 触针半径:2 μm 60° 钻石针头 (另有多种可选)

6. 驱动方式:直动式

7. 再现性:1σ= 0.2nm (1um以下台阶时)


三、X 轴 (基准轴/测量轴):

1. 移动量(最大测长):100mm (±50mm)

2. 真直度:0.2μm/100mm(全量程),5nm/5mm (局部)

3. 移动,测定速度:0.005~20mm/s

4. 线性尺(linar scale):X方向分辨率 0.1μm

5. 位置重复误差:±5um


四、Z轴:

1. 移动量:54mm

2. 移动速度:max.2.0mm/S

3. 检出器自动停止机能


五、Y轴:(手动定位用)

1. 移动量:25mm(±12.5mm)


六、工件观察:

1. 彩色1/3”CCD,x4物镜倍率

2. 综合倍率:约320倍 (使用19” monitor时)

3. 视野:1.2*0.9mm

4. 观察方向:右侧斜视

5. 照明:白色LED(可使用软件调整明暗度)


更多型号及各类不同特殊应用请随时咨询我司人员进行交流咨询,以便提供给您更加精准的型号配置推荐。






产品主要特点:

 

1. 采用直动式检出器,测量稳定

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2. 极佳重复性及再现性

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3. 低测定力采用

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a. 测定力从0.5N~500N,0.05~50mgf范围内任意设定

b. 可测量柔软性质表面


4. 真实能见度

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基本参数配置:


一、样品台:

1. 样品台尺寸:φ160mm

2. 最大工件尺寸:φ200mm

3. 最大工件厚度:52mm

4. 最大工件重量:2kg

5. 倾斜调整范围:±2°(±5mm/160mm)

6. 样品台材质:黑色硬质铝

7. 手动旋转:360°(手动粗调)、±5°(微调,最小约0.5°)


二、传感器(pick up):

1. 原理:直动式传感器 (业界唯一)

2. Z方向测定范围:Max. 600μm

3. Z方向最小分辨率:0.025nm (2,000,000放大倍率时)

4. 测定力: 10uN ~500uN

5. 触针半径:2 μm 60° 钻石针头 (另有多种可选)

6. 驱动方式:直动式

7. 再现性:1σ= 0.2nm (1um以下台阶时)


三、X 轴 (基准轴/测量轴):

1. 移动量(最大测长):100mm (±50mm)

2. 真直度:0.2μm/100mm(全量程),5nm/5mm (局部)

3. 移动,测定速度:0.005~20mm/s

4. 线性尺(linar scale):X方向分辨率 0.1μm

5. 位置重复误差:±5um


四、Z轴:

1. 移动量:54mm

2. 移动速度:max.2.0mm/S

3. 检出器自动停止机能


五、Y轴:(手动定位用)

1. 移动量:25mm(±12.5mm)


六、工件观察:

1. 彩色1/3”CCD,x4物镜倍率

2. 综合倍率:约320倍 (使用19” monitor时)

3. 视野:1.2*0.9mm

4. 观察方向:右侧斜视

5. 照明:白色LED(可使用软件调整明暗度)


更多型号及各类不同特殊应用请随时咨询我司人员进行交流咨询,以便提供给您更加精准的型号配置推荐。






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