产品主要特点：
1. 采用直动式检出器，测量稳定
2. 重复性及再现性
3. 低测定力采用
a. 测定力从0.5N~500N,0.05~50mgf范围内任意设定
b. 可测量柔软性质表面
4. 真实能见度
基本参数配置：
一、样品台：
1. 样品台尺寸：φ160mm
2. 最大工件尺寸：φ200mm
3. 最大工件厚度：52mm
4. 最大工件重量：2kg
5. 倾斜调整范围：±2°(±5mm/160mm)
6. 样品台材质：黑色硬质铝
7. 手动旋转：360°(手动粗调)、±5°(微调，最小约0.5°)
二、传感器（pick up）：
1. 原理：直动式传感器 （业界唯一）
2. Z方向测定范围：Max. 600μm
3. Z方向最小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率时)
4. 测定力： 10uN ~500uN
5. 触针半径：2 μm 60° 钻石针头 （另有多种可选）
6. 驱动方式：直动式
7. 再现性：1σ= 0.2nm (1um以下台阶时)
三、X 轴 (基准轴/测量轴)：
1. 移动量(最大测长)：100mm (±50mm)
2. 真直度：0.2μm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)
3. 移动,测定速度：0.005~20mm/s
4. 线性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1μm
5. 位置重复误差：±5um
四、Z轴：
1. 移动量：54mm
2. 移动速度：max.2.0mm/S
3. 检出器自动停止机能
五、Y轴：（手动定位用）
1. 移动量：25mm（±12.5mm）
六、工件观察：
1. 彩色1/3”CCD，x4物镜倍率
2. 综合倍率：约320倍 (使用19” monitor时)
3. 视野：1.2*0.9mm
4. 观察方向：右侧斜视
5. 照明：白色LED（可使用软件调整明暗度）
更多型号及各类不同特殊应用请随时咨询我司人员进行交流咨询，以便提供给您更加精准的型号配置推荐。
产品主要特点：
1. 采用直动式检出器，测量稳定
2. 重复性及再现性
3. 低测定力采用
a. 测定力从0.5N~500N,0.05~50mgf范围内任意设定
b. 可测量柔软性质表面
4. 真实能见度
基本参数配置：
一、样品台：
1. 样品台尺寸：φ160mm
2. 最大工件尺寸：φ200mm
3. 最大工件厚度：52mm
4. 最大工件重量：2kg
5. 倾斜调整范围：±2°(±5mm/160mm)
6. 样品台材质：黑色硬质铝
7. 手动旋转：360°(手动粗调)、±5°(微调，最小约0.5°)
二、传感器（pick up）：
1. 原理：直动式传感器 （业界唯一）
2. Z方向测定范围：Max. 600μm
3. Z方向最小分辨率：0.025nm (2,000,000放大倍率时)
4. 测定力： 10uN ~500uN
5. 触针半径：2 μm 60° 钻石针头 （另有多种可选）
6. 驱动方式：直动式
7. 再现性：1σ= 0.2nm (1um以下台阶时)
三、X 轴 (基准轴/测量轴)：
1. 移动量(最大测长)：100mm (±50mm)
2. 真直度：0.2μm/100mm(全量程)，5nm/5mm (局部)
3. 移动,测定速度：0.005~20mm/s
4. 线性尺(linar scale)：X方向分辨率 0.1μm
5. 位置重复误差：±5um
四、Z轴：
1. 移动量：54mm
2. 移动速度：max.2.0mm/S
3. 检出器自动停止机能
五、Y轴：（手动定位用）
1. 移动量：25mm（±12.5mm）
六、工件观察：
1. 彩色1/3”CCD，x4物镜倍率
2. 综合倍率：约320倍 (使用19” monitor时)
3. 视野：1.2*0.9mm
4. 观察方向：右侧斜视
5. 照明：白色LED（可使用软件调整明暗度）
更多型号及各类不同特殊应用请随时咨询我司人员进行交流咨询，以便提供给您更加精准的型号配置推荐。
